各位老师:
面向更小线宽、更高产率、更高良率集成电路(IC)制造的先进装备,体现了材料、制造、工程热物理、电气等领域诸多项尖端技术的高度集成,是全球科技竞争的前沿领域和战略高地。2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目— “先进IC制造装备基础前沿”申请指南已通过科学基金网络信息系统(https://grants.nsfc.gov.cn)发布,请申请人登录科学基金网络信息系统,在“项目管理-项目指南”模块查看。
预申请书截止时间:11月12日
校内联系人:韩薇
联系电话:025-84892758